萬業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導(dǎo)體連續(xù)中標特色工藝線項目

　　中證網(wǎng)訊（王珞）據(jù)必聯(lián)網(wǎng)發(fā)布的中標結(jié)果公告顯示，3月7日，嘉芯迦能的摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設(shè)備（SACVD）以及鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）再次中標某公司的特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)招標項目。嘉芯迦能為萬業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導(dǎo)體的子公司。

　　自2022下半年開始，萬業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導(dǎo)體多次中標多款設(shè)備，包含快速熱處理（RTP）、氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側(cè)墻等離子刻蝕機、高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備（PECVD）、鋁銅金屬濺射設(shè)備（PVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設(shè)備（SACVD）以及鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）等。